含有氟、硅、磷和硼等元素的表面活性剂称为元素表面活性剂。由于氟、硅、磷和硼等元素的引入而赋予表面活性剂更独特、优异的性能。其中含氟表面活性剂与普通表面活性剂相比，无毒或毒性非常小，它们具有高表面活性、高耐热稳定性、高化学稳定性和憎水憎油等优良而独特的性能。在纺织工业中，含氟织物整理剂主要用作织物防水防油整理剂、防污、滑爽及耐洗整理剂和纤维加工剂等，经其整理后的纺织品具有多种优异的性能，因而倍受国内外市场的关注和欢迎。

美国3M公司配制的Scotchgard（全氟羧酸铬络合物）及全氟烷基丙烯酸酯共聚体具有优异的防水、防油性能，且耐洗涤，织物手感柔软。以氟表面活性剂代替传统织物净洗剂氯乙烯可减少蛋白质纤维对水的吸收，从而避免了以往因过热干燥而导致的纤维强度下降的缺点。

含硅表面活性剂是随着有机硅新型材料发展起来的一种新型表面活性剂，不仅具有耐高温、耐气侯老化、无毒、无腐蚀及较高生理惰性等特点，还具有优良的降低表面张力的性能，是仅次于含氟表面活性剂的特殊表面活性剂品种。在纺织行业，含硅表面活性剂赋予纺织品柔软、滑爽手感及抗菌防霉、抗静电、亲水和防水等特殊功能。至少含有一个羟苯基取代的聚二有机硅烷与等量苯酚混合可作纺织纤维的润滑剂；含环氧基的硅整理剂可赋予织物良好的手感，抑制泛黄以及提高织物的吸水性；含铵基的表面活性剂还有较强的杀菌能力，对人体呈生理惰性，不刺激皮肤，整理后的织物手感较好。

此外，硅表面活性剂Neodol23-3，Silwet-L77与硅油等复配乳液可用于织物的防皱处理；聚硅醚类表面活性剂，在不同温度范围内，既可用作消泡剂，也可用作稳泡剂，具有重要的应用价值；用聚硅氧烷与烷基糖苷配比为0.5∶1.0~10∶1.0的乳液对印染后的涤（或涤/棉、涤/毛）织物进行整理，在保持原来的柔软度基础上，进一步提高了耐洗牢度。

以磷酸酯表面活性剂为代表的含磷表面活性剂在化纤工业中已作为高效抗静电剂、润湿剂和乳化剂。其中烷基磷酸酯是很有前途的一种，可在前处理过程中用作精炼剂、渗透剂，其去污力优于牛油醇硫酸钠、十二烷基苯磺酸钠和烷基酚聚氧乙烯醚。

有机硼表面活性剂是一种半极性的化合物，是由具有邻羟基的多元醇、低碳醇的硼酸三酯和某些脂肪酸所合成的。通常为非离子型，碱性介质中重排为阴离子型。含硼表面活性剂高温下极稳定，可以水解，具有优良的表面活性、抗静电性及抗菌性，毒性较低，其用途还在进一步研究当中。